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主要介绍了作为扩散阻挡层的几种材料:TiN,Ta,TaN,WNx的性质和制备以及作为扩散阻挡层材料各自的优点和及缺点.最后,简单介绍了一种三元化合物扩散阻挡层材料.
集成电路中的扩散阻挡层材料性能结合分析研究
【摘 要】
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主要介绍了作为扩散阻挡层的几种材料:TiN,Ta,TaN,WNx的性质和制备以及作为扩散阻挡层材料各自的优点和及缺点.最后,简单介绍了一种三元化合物扩散阻挡层材料.
【机 构】
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河北工业大学微电子研究所(天津)
【出 处】
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第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会
【发表日期】
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2003年12期
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