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本文研究了后退火温度、时间以及薄膜厚度对于MgB2薄膜性质的影响。首先在A1203(0001)衬底上通过电子束蒸发沉积Mg/B多层膜作为前驱体,然后后退火制备MgB2薄膜。实验发现,900℃高温后退火制备的薄膜样品超导转变温度Tc会有所提升,超过36K,但转变宽度也较人;退火温度在900℃以下时存在一个中间最佳退火温度,样品厚度增加时Tc明显提高。磁测量曲线(M-H曲线)显示了退火温度对薄膜磁通钉扎力的影响,700℃后退火样品内部形成高密度的磁通钉扎中心,使得样品高磁场下有较大临界电流密度,Jc(4T)~105A/cm2。AFM分析表明薄膜表面粗糙度很小,13.8×13.8μm2范围表面平均粗糙度(Ra)为8.0nmm。