SPM仪器时间稳定性的测量与补偿

• 作 者: 王文伟[1]金农[1]胡志强[1]夏安东[2]黄文浩[2]
• 机 构: 中国科学院上海原子核研究所(上海)
• 出 处: 中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会
• 发表日期: 1999年期
• 关键词: 扫描探针显微镜 漂移速率 时间稳定性 图像相关

扫描探针显微镜是一种超高精度的仪器。它的分辨率可达到纳米量级，在纳米科技领域有着重要的应用。SPM仪器的时间稳定性是一项重要的技术指标。研究人员通过SPM仪器测试二维光栅所得图象，运用图像相关技术测量某商用SPM仪器的漂移速率。通过在控制软件中添加增加漂移补偿模块，以压榻陶瓷的微位移来补偿热漂移的影响。最终使该仪器的漂移速率减小一个数量级。