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自行设计研制了一套反应离化团簇束制备ZnO薄膜的专门装置.用Hall等离子体源产生氧离子束和锌团簇离子.并在硅衬底上得到c轴取向,Zn、O原子百分比为1:1的ZnO薄膜.
反应离化团簇束法制备ZnO薄膜
【摘 要】
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自行设计研制了一套反应离化团簇束制备ZnO薄膜的专门装置.用Hall等离子体源产生氧离子束和锌团簇离子.并在硅衬底上得到c轴取向,Zn、O原子百分比为1:1的ZnO薄膜.
【机 构】
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武汉大学物理科学与技术学院加速器实验室
【出 处】
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2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议
【发表日期】
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2006年10期
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