Ag掺杂对Zns薄膜性能的影响

来源 :第11届全国固体薄膜会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:coolcool1234567
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在玻璃基片上分别制备了ZnS和ZnS:Ag薄膜,研究掺Ag对薄膜性能的影响.采用X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)观察了薄膜的物相结构和表面形貌,结果表明,所制备的薄膜为体心立方(闪锌矿)结构的β-ZnS,并具有明显的(111)面择优取向,掺Ag后不会出现Ag的物相结构,但薄膜晶粒得以增长,薄膜表面趋于平整密实.Hall测试结果表明,薄膜的导电类型均为n型,掺Ag后载流子浓度增大、电阻率减小,Ag掺杂能够很好地改善ZnS薄膜的电学性能.
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