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该文介绍采用９５℅Ａｌ＜，２＞Ｏ＜，３＞双孔梁弹性体和厚膜应变电阻研制成的应变式厚膜力传感器。分析了陶瓷弹性体脆性断裂、气孔率和微结构等因素对传感器性能的影响。
新型厚膜力传感器研究
【摘 要】
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该文介绍采用９５℅Ａｌ＜，２＞Ｏ＜，３＞双孔梁弹性体和厚膜应变电阻研制成的应变式厚膜力传感器。分析了陶瓷弹性体脆性断裂、气孔率和微结构等因素对传感器性能的影响。
【机 构】
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科学院合肥智能机械研究所
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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