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传感器微型化技术和新代传感器的发展——浅谈微机械加工技术和薄膜技术
【机 构】
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中国科学院合肥智能机械研究所
【出 处】
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中国电子学会第一届全国智能信息技术讨论会
【发表日期】
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1992年期
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