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以线性酚树脂为母体的醚化物在常温下具有较高的酸解活性,可用于感热正性数字成像体系和分辨率要求不太高的正性抗蚀剂,一般可获得较为理想的成像效果.
感热正性数字成像体系
【摘 要】
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以线性酚树脂为母体的醚化物在常温下具有较高的酸解活性,可用于感热正性数字成像体系和分辨率要求不太高的正性抗蚀剂,一般可获得较为理想的成像效果.
【机 构】
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北京师范大学,应用化学研究所,北京,100875
【出 处】
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中国感光学会第七次全国会员代表大会暨学术年会和第七届青年学术交流会
【发表日期】
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2006年期
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