微透镜精确定焦方法及其验证

• 作 者: 张鹏 曹学东 吴时彬
• 机 构: 中国科学院光电技术研究所 成都 610209
• 出 处: 中国仪器仪表学会2010年学术产业大会
• 发表日期: 2010年期
• 关键词: 微透镜 定焦精度 方法 清晰度函数 评价函数 数字图像处理技术 测试结果 位置误差 焦深 装置 特点 焦距 基准 共焦 测量

由于微透镜具有焦深大的特点，在测量其焦距时难以实现精确定焦。利用数字图像处理技术的清晰度评价函数来进行定焦，可以大大提高定焦精度。为了测试清晰度评价函数定焦精度，建立了一套大透镜-微透镜共焦面装置。利用大透镜焦面作为基准，对清晰度函数确定微透镜焦面位置误差进行了测试。测试结果表明：对于相对焦深为5.5％的微透镜，采用清晰度评价函数定焦其相对定焦误差不超过0.24％。