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本文阐述了扫描探针显微镜的基本工作原理及特点,以二维光栅作为测试样品介绍AJ-Ⅲ型扫描探针显微镜的实验过程,观测二维光栅的形貌图,并利用离线软件对其三维图像、颗粒尺寸、剖面图像等进行分析与处理,最后指出了仪器存在的不足与改进意见。
用扫描探针显微镜扫描二维光栅形貌
【摘 要】
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本文阐述了扫描探针显微镜的基本工作原理及特点,以二维光栅作为测试样品介绍AJ-Ⅲ型扫描探针显微镜的实验过程,观测二维光栅的形貌图,并利用离线软件对其三维图像、颗粒尺寸
【机 构】
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厦门大学物理系 厦门 361005
【出 处】
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第19届中国过程控制会议
【发表日期】
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2008年期
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