论文部分内容阅读
自八十年代中期出现的等离子体离子注入技术发展至今，在等离子体离子注入物理过程及其改性机理的研究以及装置研制、性能改进和改性工艺开发、应用领域开拓等方面都取得了很大进展。目前，等离子体离子注入技术已开始步入工业应用阶段，随着在迈向产业化进程中的相关物理和工程技术问题的深入解决，该技术将进一步完善并将得到更为广泛的应用。该文阐述了等离子体离子注入技术十年来的发展概况，并提出了该技术在全面走上产业化中面临的课题。