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透明导电氧化物薄膜是新型光电薄膜中极为重要的一类，其在太阳光谱的可见光范围内透明，对红外光有较强的反射，且电导率较大，因而是一种比较理想的透明电极材料，已在太阳能电池、液晶显示器、气体传感器、智能玻璃等领域得到广泛应用。本文研究了氧化锌基透明导电薄膜及其在钙钛矿太阳能电池中的应用，综合采用脉冲激光沉积系统，热蒸发真空镀膜技术，及水热法等生长技术，制备了铝、氟掺杂氧化锌(AZO、FZO)及氧化锌/金属复合薄膜(FZO/Cu、FZO/Ag)，系统研究了其透明导电性能，并将FZO/Ag薄膜应用到钙钛矿电池中，初步研究了其对电池性能的影响。