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微型机械技术将给工业领域带来深刻的变革，它被认为是未来工业的一项基础技术。ＬＩＧＡ技术是制作微电子机械的一种重要加工方法。主要对合肥同步辐射光源用于ＬＩＧＡ技术深度光刻的曝光时间和曝光特性进行了计算分析。计算结果表明合肥Ｗｉｇｇｌｅｒ光源是用于深度同步辐射光刻的理想光源之一。
合肥Ｗｉｇｇｌｅｒ光源用于深度同步辐射光刻特性计算
【摘 要】
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微型机械技术将给工业领域带来深刻的变革，它被认为是未来工业的一项基础技术。ＬＩＧＡ技术是制作微电子机械的一种重要加工方法。主要对合肥同步辐射光源用于ＬＩＧＡ技术深度光刻的曝光时间
【机 构】
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科学技术大学国家同步辐射实验室(安徽省合肥市)
【出 处】
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第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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1999年期
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