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晶硅铸锭过程中长晶速度对碳化硅颗粒分布的影响
【机 构】
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清华大学 航天航空学院, 北京 100084 清华大学 工程物理系,北京 100084
【出 处】
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第十六届全国晶体生长与材料学术会议
【发表日期】
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2012年8期
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