论文部分内容阅读
为了研制ＹＢＣＯ长线带材，该文选用韧性多晶金属Ａｇ为基片，采用改进后的ＰＶＤ对靶磁控油射装置在其上镀制了较强Ｃ轴（００１）织构的ＹＢＣＯ薄膜。改装后的实验装置由一对相对放置的矩形平面磁控靶、基带加热装置、输带机构和配气系统等组成。可实现薄膜动态的连续镀制和原位处理。矩形靶采用冷等静压后烧制成，该方法可制成不同形状的异形靶材。实验中还发现Ａｇ基片本身的状态对生长ＹＢＣＯ织构薄膜有重要影响。他们通过改变Ａｇ基片的轧制状态，并控制镀膜工艺，从而获得了较强Ｃ轴（００１）织构的ＹＢＣＯ薄膜短试样。