【摘 要】
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随着新一代电力电子系统对电力电子器件提出了越来越高的要求，基于GaN材料的新型电力电子器件逐渐成为当前世界上的研究热点。本文对GaN基新型电力电子器件的研究意义和现
【机 构】
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Key Lab of Semiconductor Materials Science, Institute of Seraiconductors, Chinese Academy of Science
【出 处】
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第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议
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随着新一代电力电子系统对电力电子器件提出了越来越高的要求，基于GaN材料的新型电力电子器件逐渐成为当前世界上的研究热点。本文对GaN基新型电力电子器件的研究意义和现状进行了评述，同时还介绍了几年来在该领域所取得的一些成果，包括基于AlGaN/GaN异质结的电力电子材料设计与生长、器件设计以及工艺研究，这些成果也为中国在该领域进一步研制高性能新型GaN电力电子器件打下了一定基础。
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