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4H-SiC日盲紫外探测器的模拟与分析
4H-SiC日盲紫外探测器的模拟与分析
来源 :第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qzccj
【摘 要】
:
利用ISE软件模拟了4H-SiC pin光电二极管日盲紫外光探测器电学特性,得出光电流密度在10-7A/μm2与实验结果吻合较好,验证了模型的正确性。另外,模拟了器件尺寸对电流电压曲线的影响,得出在探测器不需使用较大受光面积器件的结论。
【作 者】
:
叶丽辉
张玉明
张义门
吕红亮
孙明
【机 构】
:
西安电子科技大学 微电子研究所,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,西安,710071
【出 处】
:
第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
【发表日期】
:
2007年10期
【关键词】
:
紫外探测器
电学性能
模拟分析
功能结构
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利用ISE软件模拟了4H-SiC pin光电二极管日盲紫外光探测器电学特性,得出光电流密度在10-7A/μm2与实验结果吻合较好,验证了模型的正确性。另外,模拟了器件尺寸对电流电压曲线的影响,得出在探测器不需使用较大受光面积器件的结论。
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