【摘 要】
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本文就铸造多晶硅太阳电池材料进行全面的化学腐蚀织构化实验,得到了以下结论:(1)分别用碱和酸对其进行了腐蚀织构化的对比试验,指出了酸腐蚀能得到均匀的织构;(2)比较了不同
【机 构】
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浙江大学硅材料国家重点实验室(杭州)
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本文就铸造多晶硅太阳电池材料进行全面的化学腐蚀织构化实验,得到了以下结论:(1)分别用碱和酸对其进行了腐蚀织构化的对比试验,指出了酸腐蚀能得到均匀的织构;(2)比较了不同浓度配比的酸混合液对多晶硅的腐蚀效果,初步确定酸腐蚀的工艺方案,即在HF:HNO<,3>=12:1时,腐蚀约1～2分钟;(3)考察了硅片表面质量因素对腐蚀过程的影响,粗糙硅片可以促进织构化的进行;(4)初步研究了附加剂NaNO<,2>加入后的作用,NaNO<,2>能使反应加速,并加深腐蚀坑的深度.
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