【摘 要】
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准分子光源作为一种大功率UV、VUV光源和新型照明光源正在开发中,其潜在工业应用在实践中被认可。本文主要介绍近年来准分子光源的研究和应用方面的进展
【出 处】
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2006年辐射光源及其材料科技研讨会
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准分子光源作为一种大功率UV、VUV光源和新型照明光源正在开发中,其潜在工业应用在实践中被认可。本文主要介绍近年来准分子光源的研究和应用方面的进展
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