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该文利用薄膜的双轴应力模型，以压应力和衬底温度为自变量，计算了氮化硼薄膜中六角氮化硼（ｈＢＮ）转化为立方氮化硼（ｃＢＮ）时吉布斯自由能的改变量，据此讨论了压应力和衬底温度的大小对立方相形成的影响。
压应力对制备立方氮化硼薄膜的影响
【摘 要】
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该文利用薄膜的双轴应力模型，以压应力和衬底温度为自变量，计算了氮化硼薄膜中六角氮化硼（ｈＢＮ）转化为立方氮化硼（ｃＢＮ）时吉布斯自由能的改变量，据此讨论了压应力和衬底温度的大小对立方相形
【机 构】
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工业大学应用物理系
【出 处】
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1998年中国材料研讨会
【发表日期】
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1998年期
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