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在微电子行业中,静电放电是导致电子器件失效的主要原因,而接地在静电放电防护中起着最重要的作用.针对防静电区域接地系统的特点,通过对接地电阻测试原理的研究,本文提出了针对复杂情况接地电阻的测试方法，规范、合理、适用于现有的测试条件，并且将这个测试方法制定为现行的企业标准Q/AT21122-2006《接地电阻测量方法》，可以更好地指导测试人员正确测量接地电阻。