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历时20年研究氧化秘的生产。前十年是用分析化学理论来研究氧化秘、氧化锑的生产。1998年开始研究等离子体气相工艺法生产氧化秘、氧化锑等。直到2009年我们认为等离子体气相法生产氧化秘的方法臻于完美才申请了发明专利。文章介绍了等离子体气相法生产氧化铋的进展，和应用研究情况。
等离子体气相法生产氧化铋的进展与应用研究
【摘 要】
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历时20年研究氧化秘的生产。前十年是用分析化学理论来研究氧化秘、氧化锑的生产。1998年开始研究等离子体气相工艺法生产氧化秘、氧化锑等。直到2009年我们认为等离子体气相法生产氧化秘的方法臻于完美才申请了发明专利。文章介绍了等离子体气相法生产氧化铋的进展，和应用研究情况。
【机 构】
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常德市虹泰纳米科技有限公司,常德,415100
【出 处】
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中国电子学会敏感技术分会电压敏专业学部第十九届学术年会
【发表日期】
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2012年4期
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