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在本工作中,采用直流磁控溅射方法在K9 玻璃上沉积制备了楔形金属钛超薄膜样品,并采用椭圆偏振光谱法对其介电常数随厚度的变化进行了测量和研究.同一块楔形薄膜确保了在相同沉积条件下制备的不同厚度的钛薄膜都具有相同的工艺参数.AFM 测量的结果表明样品在不同位置的粗糙度很小,为0.5 nm 左右.椭圆偏振光谱仪的探测光斑被聚焦到样品表面的尺寸约为200 m,在300-1200 nm 波长区对钛薄膜的椭偏参数进行了测量,并通过建立合适的光学模型以及Lorentz 振子色散模型,拟合得到了不同位置钛薄膜的厚度和介电常数.