论文部分内容阅读
该文测定了由十二种不同成膜工艺所制备的金属薄膜（Ａｌ膜及Ａｌ－ｌ℅Ｓｉ膜）在不同温度（Ｔ）下的薄层电阻（Ｒｓ）值（Ｔ的范围：２９３Ｋ→１５Ｋ）及其电迁移中位寿命ＭＴＴＦ。数据分析表明：各金属薄膜的Ｒｓ～Ｔ关系表现出同一规律；金属薄膜的高低温电阻比ＲＲ与ＭＴＴＦ存在很好的线型关系，ＲＲ是一个有效的金属膜质量监测器。进一步，在此基础上该文又发展了一种新的在线监测金属膜质量的方法－－用ｌ／α来预测ＭＴＴＦ（α是金属膜的温度系数），与ＲＲ法相比，该方法更具优越性。