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采用CO2激光熔融石英光纤制作了微米量级的高Q值石英球腔.设计并实现了烧蚀光纤的双光路光学系统,采用监视系统实时观察烧蚀过程,寻找到球腔的最佳熔融条件--完全成腔条件;通过光学和原子力显微镜(AFM)对制成的石英球腔进行几何形状和表面形貌观测分析.结果表明,在实验室条件下能够获得球腔直径在30～300μm的微米级石英圆对称光学谐振腔.