新型双栅跑道形锐化场致发射体阵列的制备及其特性研究

• 作 者: 王保平 汤勇明 汪琛 薛坤兴 童林夙
• 机 构: 东南大学电子工程系（南京江苏）
• 出 处: 第七届中国真空微电子学与场致发射学术年会
• 发表日期: 1999年期
• 关键词: 双栅 跑道形场致发射体 锐化处理 阵列 结构 发射电流密度 特性测试 数值模拟 起始电压 栅电极 均匀性 栅极 口形 火山

与火山口形场致发射体结构相比，跑道形场致发射体结构不仅可以提供好的均匀性，而且可以提供大的发射电流密度。此外，双栅电极的使用和发射体的锐化处理即可以降低起始电压，又可以大大减小栅极电流。本文提出了双栅跑道形锐化场致发射体结构，完成了双栅锐化发射体结构的制备和特性测试，并对这些结构的特性进行了数值模拟。