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PZT(Pb(Zr<,x>Ti<,1-x>)O<,3>)作为一种性能优异的功能材料,被广泛应用于微系统中的微型传感器和微型驱动器.本文综述了适用于微系统技术中的PZT铁电薄膜的制备方法,介绍了国内外PZT铁电薄膜制备的最新进展,并对微系统技术中各种PZT铁电薄膜的制备技术进行了评价.
微系统中PZT铁电薄膜的制备
【摘 要】
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PZT(Pb(ZrTi)O)作为一种性能优异的功能材料,被广泛应用于微系统中的微型传感器和微型驱动器.本文综述了适用于微系统技术中的PZT铁电薄膜的制备方法,介绍了国内外PZT铁电薄
【机 构】
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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系(合肥)
【出 处】
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2001年10期
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