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该文系统考察了衬底硅材料的掺杂类型、浓度、阳极氧化电流密度、时间等工艺条件对多孔硅可见光电致光特性影响，考察了其微结构，从理论上讨论了多孔硅微结构的形成与上述工艺条件的关系。
多孔硅材料的电致发光特性及其微结构
【摘 要】
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该文系统考察了衬底硅材料的掺杂类型、浓度、阳极氧化电流密度、时间等工艺条件对多孔硅可见光电致光特性影响，考察了其微结构，从理论上讨论了多孔硅微结构的形成与上述工艺条
【机 构】
：
交通大学电子与信息工程学院
【出 处】
：
第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议
【发表日期】
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1995年期
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