【摘 要】
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我们选用有机化合物作为液化试剂,通过配制成溶液,使二甲基二茂镁发生液化或部分液化,从而使镁源在使用过程中实现最大程度的与载气流的接触,形成稳定的蒸汽压.研究表明,有机
【机 构】
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南京大学化学化工学院国家863计划新材料MO源研究开发中心(南京)
【出 处】
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中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议
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我们选用有机化合物作为液化试剂,通过配制成溶液,使二甲基二茂镁发生液化或部分液化,从而使镁源在使用过程中实现最大程度的与载气流的接触,形成稳定的蒸汽压.研究表明,有机叔胺类化合物对二甲基二茂镁具有比较好的溶解液化能力,将等量的二甲基二茂镁与N,N-二甲基十二烷基胺混合得到的混合物在室温为液体,其熔点在O℃以下.对液化后的二甲基二茂镁,我们参照MOCVD实际使用条件测定了二甲基二茂镁的输出情况.
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