【摘 要】
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南京大学MO源研发中心通过摸索,采用了化学方法和物理方法相结合的纯化工艺纯化四氯化锗,对含氢杂质主要采用化学方法,针对四氯化锗中OH基因主要以Ge-OH结构存在,采取了配基
【机 构】
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南京大学化学化工学院国家863计划新材料MO源研究开发中心(南京)
【出 处】
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中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议
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南京大学MO源研发中心通过摸索,采用了化学方法和物理方法相结合的纯化工艺纯化四氯化锗,对含氢杂质主要采用化学方法,针对四氯化锗中OH基因主要以Ge-OH结构存在,采取了配基交换方式,成功降低了OH的含量;对CH杂质采用了自由基氯化反应,取得了比较好的效果;对金属杂质,主要采用新的物理纯化工艺,辅以高效精馏手段实现了对四氯化锗的纯化.通过纯化,得到了高品质的四氯化锗材料.
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