GD08-014液相外延HgCdTe薄膜组分均匀性对器件响应光谱的影响

来源 :第10届全国光电技术学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:simetl1235
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  研究了HgCdTe液相外延薄膜的组分均匀性对器件响应光谱的影响.提出了一种计算HgCdTe红外探测器响应光谱的方法,考虑了HgCdTe液相外延薄膜的纵向组分分布和横向组分波动,以及光在器件各层结构中的相干、非相干传输.使用该方法计算了响应光谱的峰值响应率和截止波长随着液相外延HgCdTe的互扩散区厚度△z和组分均方差σ的变化规律.结果表明对于一般的HgCdTe外延薄膜,σ小于0.002,不需要考虑横向组分波动的影响.同时计算了峰值响应率和黑体响应率随着液相外延HgCdTe的总厚度的变化规律,可以得到最佳的吸收区厚度.
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