离子束增强沉积ＴｉＢ<,2>薄膜的性能研究

来源 :’94秋季中国材料研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dddff628

【作者】

：

况园珠白新德

【机构】

：

中科院空间中心

【出处】

：

’94秋季中国材料研讨会

【发表日期】

：

1994年期

【关键词】

：

离子束增强沉积薄膜

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