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本文探讨了传感器微结构和性能间的关系,为控制微结构所采用的措施与工艺,以及工艺对性能的影响.新型传感器灵敏度高,稳定性好,可靠性高寿命较长,为金属氧化物半导体式气敏元件实用化大规模生产创造了条件.
传感器性能与微结构的关系
【摘 要】
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本文探讨了传感器微结构和性能间的关系,为控制微结构所采用的措施与工艺,以及工艺对性能的影响.新型传感器灵敏度高,稳定性好,可靠性高寿命较长,为金属氧化物半导体式气敏元
【机 构】
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西安电子科技大学,西安市华特林敏感技术研究所,西安,710071
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2005年期
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