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The Influence of Modulation Wavelength on the Structure and Properties of TiN/TiAlN Multilayer
【机 构】
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State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials,Xi'an Jiaotong University,Xi'an 710049,C
【出 处】
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The 8th Asian-European International Conference on Plasma Su
【发表日期】
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2011年期
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