【摘 要】
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本文用分子束外延生长的Mn掺杂的宽带半导体TiO2薄膜研究了结晶质量与磁性质的关系。以慢速率生长的外延薄膜具有好的晶体结构,而以快速率生长的外延薄膜具有很多空位。X射线
【机 构】
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中山大学光电材料与技术国家重点实验室,广州 510275
【出 处】
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第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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本文用分子束外延生长的Mn掺杂的宽带半导体TiO2薄膜研究了结晶质量与磁性质的关系。以慢速率生长的外延薄膜具有好的晶体结构,而以快速率生长的外延薄膜具有很多空位。X射线光电子能谱显示Mn2+离了与缺陷之间存在相互作用。与具有缺陷的Mn:TiO2薄膜不同的是,具有盘了的结晶质量的Mn:TiO2薄膜没有磁性。得出结论,室温稀磁性质与材料的结构缺陷具有很大的联系。
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