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摘要本文对微波内匹配大功率晶体管所用的内匹配电容在引线键合时易出现金属层与氧化层分离现象进行了分析，并给出了改进方法。在采用了金属干法刻蚀及氧化层表面改性处理等措施后，金属与氧化层粘附不牢问题基本得到了解决，减少了器件报废现象，提高了内匹配器件的稳定性和可靠性。
提高金属与氧化层粘附能力
【摘 要】
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摘要本文对微波内匹配大功率晶体管所用的内匹配电容在引线键合时易出现金属层与氧化层分离现象进行了分析，并给出了改进方法。在采用了金属干法刻蚀及氧化层表面改性处理等措
【机 构】
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工业部第13研究所(石家庄)
【出 处】
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中国电子学会第四届青年学术年会
【发表日期】
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1998年期
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