【摘 要】
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由于超导单光子探测器在光量子领域的应用，使得其成为近年研究热点.本文通过溅射与剥离的方法制备了超薄Nb/Al超导纳米线单光子探测器.并且采用了谐振腔结构增加光耦合效
【机 构】
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清华大学微电子学研究所,北京100084
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由于超导单光子探测器在光量子领域的应用，使得其成为近年研究热点.本文通过溅射与剥离的方法制备了超薄Nb/Al超导纳米线单光子探测器.并且采用了谐振腔结构增加光耦合效率.为了测试其光电性能，搭建了可靠而稳定的低温测试系统，采用带有激光准直器的光耦合结构和封装方法，在500mK的低温下，表征SNSPD的直流特性，得到了单光子响应脉冲和1550nm波长的探测效率.研究发现探测效率和暗计数随着偏置电流的增加具有明显的增加趋势.并且带有谐振腔结构的探测器效率在500mK达到了0.18％，相比较无谐振腔结构的探测器有了明显的提升.本文将介绍Nb/Al纳米线探测器的仿真，制备与测量结果.
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