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本文介绍采用陶瓷弹性体和盖板研制的厚膜电容式压力传感器,讨论了弹性体、电容的极板间隙对传感器性能的影响。
厚膜电容式压力传感器研究
【摘 要】
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本文介绍采用陶瓷弹性体和盖板研制的厚膜电容式压力传感器,讨论了弹性体、电容的极板间隙对传感器性能的影响。
【机 构】
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中国科学院合肥智能机械研究所,安徽合肥,230031
【出 处】
：
四川省电子学会传感技术第11届学术年会
【发表日期】
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2009年11期
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