【摘 要】
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本文采用水热法,在预先生长有球状颗粒缓冲层的玻璃基片上,生成了微米级管状ZnO,利用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)对ZnO微米管的的形貌和物相进行了表征.实验结果表
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院成都610054
【出 处】
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四川省电子学会传感技术第11届学术年会
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本文采用水热法,在预先生长有球状颗粒缓冲层的玻璃基片上,生成了微米级管状ZnO,利用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)对ZnO微米管的的形貌和物相进行了表征.实验结果表明,ZnO微米管为规则的六棱管状结构,尺寸大小均匀,管直径约为5μm,管长度约为10μm。对ZnO微米管的气敏特性进行了初步研究,结果表明其对乙醇的敏感性最好,氢气次之。
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