【摘 要】
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主要研究了低温生长柔性聚酰亚胺衬底的铜铟镓硒(Cu(In,Ga)Se2,CIGS)薄膜材料及器件问题.通过改善元素沉积速率、调控薄膜元素分布比例,分析其对CIGS薄膜结构、电学及元素分布等特性的影响,确定影响低温生长CIGS薄膜的主要因素,优化薄膜带隙梯度,提升薄膜的结晶质量及器件性能,最终在低温450℃下,得到效率为1O.99％的PI衬底CIGS薄膜太阳电池.
【机 构】
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天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室,南开大学信息技术科学学院,天津300071
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主要研究了低温生长柔性聚酰亚胺衬底的铜铟镓硒(Cu(In,Ga)Se2,CIGS)薄膜材料及器件问题.通过改善元素沉积速率、调控薄膜元素分布比例,分析其对CIGS薄膜结构、电学及元素分布等特性的影响,确定影响低温生长CIGS薄膜的主要因素,优化薄膜带隙梯度,提升薄膜的结晶质量及器件性能,最终在低温450℃下,得到效率为1O.99％的PI衬底CIGS薄膜太阳电池.
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