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本文提出在铝合金微弧氧化涂层表面中频磁控放电沉积Cr-DLC,以期获得高耐磨、低摩擦系数的高利用率的硬质薄膜。由于金属氧化物同金属化合物的原子构型有较大不同,造成在微弧氧化膜层上沉积DLC,很难获得结合力较高的硬质薄膜,为此提出了高功率脉冲磁控放电清洗技术。利用高功率脉冲放电获得高密度等离子体(含有大量的金属离子),然后在工件上施加高偏压(500-1000V),来轰击微弧氧化表面。