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高密度等离子体电源研制、放电及镀膜
【机 构】
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哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室,哈尔滨,150001
【出 处】
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第五届全国工业等离子体会议暨第五届高离化磁控多弧技术研讨会及第二届 PVD 企校合作高层论坛
【发表日期】
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2017年12期
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