电子器件的第二次变革

来源 :中国真空学会第五届学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huoyong850918
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电子器件是20世纪的重大发明之一,它对科技、生产、经济以及人类社会的作用是任何其它发明所不能与之比拟的。电子器件的发展已经历了两个时期,即真空电子管和固体晶体管。它们的发展趋势是尺寸不断减小,如晶体管尺寸小到微米量级,形成大规模集成电路,称为微电子器件。尺寸的进一步减小,将进入纳电子器件时期。这就是人类面临的电子器件发展的第二次变革。该文分析了电子器件发展的两次变革,比较了真空电子器件、微电子器件和纳电子器件的结构与特性,给出了它们在理论、材料和技术上的主要差别。提出了纳电子器件的基础结构是纳米点双隧道结构成的单电子管(SET),纳米功能单元的超高密度集成是纳电子器件的主要特征。讨论了纳电子器件的基本结构和运行机理,以及需要探索的理论问题。
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