全玻璃封离真空平板光电子器件中ITO电极的构建

• 作 者: 李宏彦 刘光诒 夏善红 张建钢 丁耀根 吕永积 庄卫东
• 机 构: 北京有色金属研究总院稀土材料国家工程研究中心,有研稀土新材料股份有限公司,北京 100088 京东方科技集团股份有限公司,北京 100016
• 出 处: 中国电子学会真空电子学分会第十七届学术年会暨军用微波管研讨会
• 发表日期: 2009年期
• 关键词: 玻璃 真空 电子平板 光电子器件 透明导电 氧化物电极 锡氧化物 配置法 光电极 特殊结构 密封管 薄平板 荧光 铟锡 阳极 设计 光源

本文报道了二十世纪九十年代初，在—些特殊结构的真空微电子平板光电子器件中，构筑与设计透明导电氧化物电极的方法。主要围绕—种采用透明导电钢锡氧化物TCO-ITO阳极的全玻璃封离真空平板荧光光源FP-VFLS管。介绍能大大减薄平板器件的—种前发光电极配置法，详细介绍了采用这种前发光电极配置法时，器件中透明导电铟锡氧化物电极的构筑与玻璃密封管的构筑方法。