【摘 要】
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碱金属微结构气室是微型原子钟、微型磁力计、碱金属激光器等新型光电子器件的核心物理部件。近十年来，虽然基于微机电(MEMS)原理的微气室封装技术有了较快发展，但是最为关
【出 处】
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中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会
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碱金属微结构气室是微型原子钟、微型磁力计、碱金属激光器等新型光电子器件的核心物理部件。近十年来，虽然基于微机电(MEMS)原理的微气室封装技术有了较快发展，但是最为关键的碱金属原子填充方法一直是比较有挑战性的课题，因此，寻求新的可控的填充碱金属原子的方法是有十分有意义的。本文基于飞行时间质谱(TOF-MS)分析技术，从实验上探索脉冲激光分解氯化铷(RbCI)产生Rb+离子发射的现象，目标是将来定量可控地给微气室填充Rb原子。由于Rb+离子带电，可以用电场定向导入微结构孔洞中而不污染键合界面。如果单个激光脉冲所产生的Rb+离子数目已知，则原则上可以通过调节激光脉冲个数来控制Rb+离子的填充量。为了达到这个目标，首先需要寻求高效地产生光致Rb+离子发射的材料体系。这里我们通过对比实验，研究了不同基底/基质上的等量RbCI的光致离子发射现象，发现在硅片基底上以黑色氧化钛(Ti02)纳米球作为辅助基质，能够有效增强Rb+离子发射的强度和纯净度。基于实验结果和理论分析，我们用黑色Ti02纳米球的超级光热效应以及TiO2材料的高化学稳定性解释了实验现象。
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