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本文通过真空比对标准装置及电参数测量系统,对目前较为常用的几种热阴极电离真空计进行电参数校准.通过对实验数据的分析,验证了该套装置及方法的可行性.
几种热阴极电离真空计电参数校准及分析
【摘 要】
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本文通过真空比对标准装置及电参数测量系统,对目前较为常用的几种热阴极电离真空计进行电参数校准.通过对实验数据的分析,验证了该套装置及方法的可行性.
【机 构】
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西安航天计量测试研究所,陕西西安710100
【出 处】
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中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会
【发表日期】
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2013年期
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