【摘 要】
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利用电弧离子镀技术,在符合材料表面制备以Ti为过渡层的Al膜,然后利用SEM、XRD、表面轮廓仪Dektak8Stylus、四探针Z-82、CMT-6104和XPS对薄膜表面形貌、结构、膜厚、电阻、附
【机 构】
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兰州物理研究所表面工程技术重点实验室,甘肃兰州730000
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利用电弧离子镀技术,在符合材料表面制备以Ti为过渡层的Al膜,然后利用SEM、XRD、表面轮廓仪Dektak8Stylus、四探针Z-82、CMT-6104和XPS对薄膜表面形貌、结构、膜厚、电阻、附着力和膜基界面进行评价,发现Al膜性能接近Al块材,且Ti和基体形成了Ti-C,Ti-O等化学键,提高了Al在复材表面的附着力.
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