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在本考察了金刚石薄膜的成核密度对其场发射特性的影响，发现较低的成核密度有利于获得较好的发射特性；对发射曲线进行了拟合，并对所得结果进行了讨论。
金刚石薄膜成核密度对其场发射的影响
【摘 要】
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在本考察了金刚石薄膜的成核密度对其场发射特性的影响，发现较低的成核密度有利于获得较好的发射特性；对发射曲线进行了拟合，并对所得结果进行了讨论。
【机 构】
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中科院长春物理所（长春）
【出 处】
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第七届中国真空微电子学与场致发射学术年会
【发表日期】
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1999年期
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