【摘 要】
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使用贵金属银纳米颗粒催化腐蚀法,在硅片表面成功制备了纳米多孔硅减反射结构,并应用到晶体硅太阳电池器件中.研究发现多孔硅形貌随着腐蚀时间的增加,呈现出有规律的变化,相
【机 构】
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浙江大学材料科学与工程学系,硅材料国家重点实验室,310027
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使用贵金属银纳米颗粒催化腐蚀法,在硅片表面成功制备了纳米多孔硅减反射结构,并应用到晶体硅太阳电池器件中.研究发现多孔硅形貌随着腐蚀时间的增加,呈现出有规律的变化,相应的硅片表面反射率出现先增高后降低的变化规律.腐蚀反应时间2~5min表面反射率在可见光范围内降低到5%以下.同时,首次提出在深发射极的硅片表面制备多孔黑硅结构工艺,解决了后期电池制备工艺对多孔硅结构造成的损失和表面复合问题,并研究了表面方阻对太阳电池器件效率的影响.所制备多孔硅-金字塔结构太阳电池器件的优化表面方阻为50Ω/sq,在此方阻条件下得到最高电池效率为14.2%,经过氮化硅薄膜表面钝化之后效率可升至15.3%.
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