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本文采用了Greengard和Rocklin<[1]>提出的快速多极算法FMM(Fast Multipole Method),通过静电模拟分析,提出了片上互连电感的FMM计算方法.该方法更加准确地反映出在高频情况下导体横截面电流分布不均匀的情况,因此,能够更加准确的计算出集肤效应显著条件下的互连电感参数.